資料介紹

• 機械工程工業

中文名: 微機械與微細加工技術
作者: 苑偉政 馬炳和
資源格式: PDF
版本: 掃描版
地區: 大陸
語言: 簡體中文
出版社: 西北工業大學出版社
書號: 9787561212745
發行時間: 2001年01月
微機械與微細加工技術 簡介:

微機械與微細加工技術 內容簡介:
《微機械與微細加工技術》微機械是80年代末出現的一門嶄新的學科，被譽為21世紀最具代表性的技術之一。本書共分8章，結合作者近年來的研究工作，系統地介紹了微機械學科的起源、發展過程及當前國內外該學科的研究內容與成果。
《微機械與微細加工技術》內容包括微機械理論基礎、微機械材料與微結構，微細加工技術、准分子激光微細加工技術、微檢測技術、同傳感器、微致動器臁其它微器件、典型微型電子機械系統與微機器械人等等。
《微機械與微細加工技術》本書可供從事微機械研究的科技人員使用，也可供相關學科的師生參考。
微機械與微細加工技術 目錄:
緒論
第一章 微機械理論的基礎
1.1 微機械學
1.2 微動力學
1.3 微電力學
1.4 微光學
1.5 微流體力學
1.6 微熱力學
1.7 微摩擦學
1.8 納米生物學
1.9 分子裝配技術
第二章 微機械材料與微結構
2.1 引言
2.2 微機械材料
2.3 微結構與微型智能結構
第三章 微細加工技術
3.1 引言
3.2 硅微細加工技術
3.3 光刻技術
3.4 犧牲層技術
3.5 外延技術
3.6 高能束刻
3.7 LIGA技術
3.8 微細立體光刻技術
3.9 精密放電加工技術與趨精密機械加工技術
3.10 微機械裝配與集成
第四章 准分子激光微細加工技術
4.1 引言
4.2 准分子激光器及其工作原理
4.3 直寫微細加工的准分子激光束特性
4.4 准分子激光直寫微細加工
4.5 准分子激光直寫微細加工系統
4.6 准分子激光直寫刻蝕基本規律
……
第五章 微檢測技術
第六章 微傳感器
第七章 微致動器及其它微器件
第八章 典型微型電子機械系統與微機器人
參考文獻
微機械與微細加工技術  相關內容資料：
機械制造基礎
機械設計
西北工業大學精品課程:機械原理
機械原理與機械設計
化工機械應用基礎
機械設計手冊
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