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1983、1986、1994年分別在清華大學無線電電子學系、中國科學院電子學研究所、英國劍橋大學工程系電子工程專業獲得學士、碩士和博士學位。1990年獲得皇家學會Royal Fellowship，並兩次（2001-2003年、2004-2007年）獲得英國皇家學會國際合作項目； 1998年曾赴香港科技大學電機與電子工程系進行短期合作研究；獲得美國加州大學伯克利分校2002－2004年度Berkeley Scholarship，多次赴伯克利傳感器與執行器中心(BSAC)開展合作研究工作。

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微機電系統的縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機械，在歐洲被稱為微系統，目前MEMS加工技術又被廣泛應用於微流控芯片與合成生物學等領域，從而進行生物化學等實驗室技術流程的芯片集成化

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